金属靶的应用

金属靶是指用于薄膜制备技术如物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)的金属材料。它们具有高纯度、均匀性和良好的机械性能，广泛应用于以下领域:

1.半导体工业:金属靶是半导体工业中非常重要的材料。它们用于制备金属薄膜，如铝、铜、钛、铬等金属薄膜，以及制造集成电路、显示器件、太阳能电池等。

2.光学镀膜:金属靶也用于光学镀膜领域。通过沉积金属薄膜，可以实现透镜、滤光片、反射镜等光学元件的特定光学特性，如反射、透射、滤波等。

3.导电涂层:金属靶在导电涂层中起着关键作用。例如，铜靶可用于制备触摸屏的导电膜、导电电极和导电材料。

4.金属合金的制备:金属靶可用于合金的制备。通过控制靶材的成分和沉积条件，可以制备特定成分和性能的金属合金材料，如镍铬合金、钴铬合金等，用于航空航天、汽车制造、化工等领域。

5.硬质涂层:金属靶也用于制备硬质涂层。如钨靶可用于制备碳氮化钨(WCN)涂层，提高工模具的硬度和耐磨性，延长其使用寿命。